Mengapa “cukup baik” tidak cukup untuk alat-alat pembuatan wafer
Ketika kita mengirimkan elemen pemanas atau sensor untuk alat-alat pembuatan wafer, metode “sampling acak” sama sekali tidak efektif. Metode ini sama sekali tidak bisa diandalkan.
Bayangkan saja: sedikit saja kegagalan isolasi dalam lingkungan vakum yang ekstrem, maka akan terjadi bencana. Anda akan menghadapi masalah seperti kerusakan pada sumber daya listrik, atau bahkan seluruh batch wafer yang terkontaminasi. Itu merupakan mimpi buruk yang tidak ingin dialami oleh siapa pun.
Itulah sebabnya kami harus menguji setiap unit secara menyeluruh. Tidak ada pengecualian. Setiap komponen harus melalui tes tegangan tahanan (HiPot) dan tes resistansi isolasi sebelum boleh dipakai.
Menguji Komponen dengan Tekanan Tinggi
Alat-alat pembuatan wafer beroperasi dalam kondisi suhu yang ekstrem. Bahan-bahan yang digunakan terus-menerus mengembang dan menyusut. Seiring waktu, tekanan tersebut akan menciptakan retakan kecil pada isolator seramik atau merusak lapisan pelindung kabel.
Jika sebuah sensor memiliki kelemahan tersembunyi, maka kelemahan tersebut akan tetap tidak terdeteksi sampai sensor tersebut beroperasi pada suhu yang tinggi. Setelah itu, sensor tersebut akan rusak.
Untuk mencegah hal ini, kami memberikan tekanan yang sangat tinggi pada komponen-komponen tersebut. Dengan cara ini, kelemahan-kelemahan tersembunyi akan muncul ke permukaan. Jika terjadi peningkatan arus bocor, maka komponen tersebut dianggap tidak layak digunakan. Kami tidak mencari komponen yang “hampir berfungsi”. Kami mencari adanya jalur kontak ke tanah yang seharusnya tidak ada.
Detil Mengenai Resistansi Isolasi
Kami memantau nilai resistansi isolasi dalam satuan Megaohm untuk mengetahui seberapa baik bahan tersebut dapat menahan arus listrik. Biasanya, jika nilai ini turun, berarti ada kelembapan yang masuk atau ada kotoran selama proses perakitan.
Kami menggunakan sumber tegangan DC bertekanan tinggi untuk menguji ketahanan isolasi pada seluruh permukaan komponen. Ini merupakan satu-satunya cara untuk memastikan bahwa ketahanan isolasi tersebut konsisten. Hal ini juga membantu mencegah elemen pemanas dari terbakar akibat arus yang berlebihan.
Keseimbangan Antara Berbagai Faktor
Selalu ada keseimbangan yang perlu dicapai. Jika Anda ingin tegangan yang lebih tinggi agar mendapatkan densitas panas yang lebih baik, maka isolasi tersebut harus bekerja lebih keras. Anda mungkin ingin menggunakan isolator yang lebih tipis agar alat menjadi lebih kompak atau agar respons termalnya lebih cepat. Namun, hal ini akan meningkatkan risiko kesalahan.
Anda perlu menyeimbangkan ketebalan isolator dengan kebutuhan transfer panas. Jika Anda merancang alat untuk tegangan yang sangat tinggi, pastikan bahwa jalur kontak ke tanahnya bersih. Jika tidak, Anda akan menghadapi masalah potensial yang tidak diinginkan.