בקומת הליתוגרפיה, אפיית הפוטורזיסט אינה רק שלב תרמי – היא שלב מימדי. סטייה של 1°C באפיית הרכות תתבטא בבקרת המידות הקריטיות ובפרופיל הדופן הצדדית. בנינו את מנורת האינפרא-אדום שלנו לפוטורזיסט סביב עובדה זו, במטרה להשיג אחידות תרמית ברמת הוופר של ±0.1°C ופרופילי אפייה שחוזרים על עצמם לאורך כל המקטע.
מה שחשוב, מבחינה טכנית
אנחנו מפעילים אינפרא-אדום גל קצר עם מפיץ תגובה מהירה כדי לספק חימום מהיר ונקי. המערכת שומרת על נקודת הסט הנבחרת בקפדנות במהלך אפיית הרכות ואפיית הקשיחות, עם בקרה בלולאה סגורה שמפצה על הזדקנות המנורה ועל תנודות במתח הרשת. המבנה תואם לחדרי נקיון Class 1–100, תוך שימוש בחומרים ואטמים שמצמצמים יצירת חלקיקים. בייצור, זה מתורגם לפחות פגמים, יציבות בתפוקה וביצועים עקביים של הפוטורזיסט מהוופר הראשון ועד האחרון.
מדוע זה עובד בקומת הייצור
ייבוש הוופר, אפיית הפוטורזיסט לפני החשיפה ואפייתו לאחר החשיפה – כולם דורשים את אותו הדבר: שליטה בתקציב התרמי מבלי להוסיף זיהום. הגישה שלנו באינפרא-אדום מחממת רק את היעד, כך שלא נטען את הציוד הסובב, והצריכה האנרגטית מופחתת. התוצאה היא זמני מחזור קצרים יותר, חלון תהליך יציב, וחימום בקו ראייה צפוי שמתאים לצמתים מתקדמים. מקבלים חזרתיות שניתן לתעד לביקורת וזמינות שניתן לתכנן סביבה בפועל.
כמה הערות פרקטיות
ביצועי אפיית האינפרא-אדום תלויים בהתאמת ספקטרום המנורה וצפיפות ההספק למערום הרזיסט ולגודל הוופר. יש לצפות לחלון תיאום קצר לכיוון פליטת הקרינה, מהירות הסריקה ופרופיל הטמפרטורה לכל מתכון. בנוסף, המנורה חייבת להשתלב עם הבקר הקיים שלכם או עם ממשק SECS/GEM – יש לתכנן אחה"צ אחד לכיול חשמלי ותקשורתי כדי למנוע סטייה לאחר ההפעלה.