Sur le site de production, les écarts thermiques ne sont pas simplement des déviations : ils entraînent une baisse de la qualité du produit fini. Une chambre de pulvérisation qui s’éloigne ne serait-ce que légèrement de sa cible provoque des tensions dans la couche déposée et une non-uniformité de son épaisseur. Cela a des conséquences directes sur les étapes de lithographie et d’excavation. Nous avons conçu nos chauffages à rayonnement infrarouge pour éliminer cette incertitude, en assurant une stabilité de déposition précise, juste à la surface de la wafer.
Notre conception à rayonnement infrarouge à ondes courtes permet de transmettre rapidement de la chaleur à la wafer, ce qui garantit une uniformité de l’épaisseur de la couche déposée à ±0,1 °C. La géométrie du radiateur en quartz, ainsi que le contrôle en boucle fermée, permettent de maintenir un budget thermique strict, afin d’obtenir une épaisseur de couche conforme aux spécifications, sans excès. Dans le traitement du photorésiste, ce même système à rayonnement infrarouge assure un nettoyage efficace du solvant avant le séchage, ce qui réduit les problèmes liés aux impuretés, problèmes qui peuvent ensuite se transformer en erreurs de calibration.
Ce système est conçu pour être utilisé en environnement propre. Le corps du chauffage fonctionne sans production de particules, même dans des conditions de classe 1–100. De plus, les matériaux utilisés présupposent peu d’émissions gazeuses, ce qui évite toute contamination pendant les longues périodes de pulvérisation. Aucune génération de particules au niveau du bord de la wafer, ce qui signifie moins de produits rejetés et moins de travaux de maintenance nécessaires. On obtient ainsi des temps de cycle stables, une consommation d’énergie moindre par wafer, et des propriétés de la couche déposée constantes d’un lot à l’autre.
L’installation est simple sur la plupart des plateformes de pulvérisation. Cependant, sa taille compacte limite l’espace disponible autour des protections et des fixations. Il est donc important de planifier l’intégration dès le début : il faut adapter l’interface de montage et vérifier l’espace nécessaire pour les faisceaux optiques avant de changer de type de production. Une fois installé, le système fonctionne 24/7 avec très peu de déviations. La reproductibilité annoncée dans les fiches techniques se retrouve également en pratique, avec des résultats conformes aux spécifications, d’un lot à l’autre.