Comment sécher les wafers MEMS sans les endommager
Sécher les wafers de capteurs MEMS est une tâche délicate. Il est nécessaire d’éliminer l’eau rapidement, mais si on agit de manière trop brutale, on risque de détruire ces micro-structures fragiles.
Pour trouver cet équilibre parfait, nous utilisons des chauffages infrarouges associés à des réflecteurs recouverts d’or. L’objectif est simple : éviter de gaspiller de l’énergie et s’assurer que chaque photon atteint bien le wafer.
Pourquoi de l’or ?
La plupart des gens optent pour des réflecteurs en alumineux. Mais problème : l’alumineux absorbe beaucoup d’énergie infrarouge. Nous préférons donc l’or de haute pureté, car il est extrêmement efficace pour renvoyer la lumière infrarouge là où elle doit aller.
Il ne s’agit pas seulement de réflexion. En combinant une couche d’or avec une courbe parabolique précise, nous pouvons diriger la chaleur vers le wafer. Ainsi, un faisceau concentré d’énergie atteint le wafer, ce qui signifie qu’il n’est pas nécessaire d’augmenter la tension des lampes pour obtenir le même résultat. C’est plus intelligent, et moins difficile.
Équilibrer puissance et chaleur
Lors de la configuration de ces équipements, il s’agit de trouver un équilibre entre vitesse et sécurité. Bien sûr, des lampes à haute puissance sont utiles pour maintenir le fonctionnement des lignes de production. Mais elles génèrent également beaucoup de chaleur. Si le système de refroidissement du boîtier n’est pas adapté, cette chaleur reste stockée dans le système. Bientôt, les températures deviennent instables, ce qui peut endommager le wafer. C’est un problème que l’on veut vraiment éviter.
Assurer le bon fonctionnement
Nous avons conçu ces appareils de manière à ce qu’ils puissent être remplacés rapidement. Personne ne veut que la ligne de production soit arrêtée pendant des heures. Les réflecteurs sont parfaitement alignés avec l’axe de la lampe, afin d’éviter des zones froides sur le wafer. Attention cependant : l’or est sensible. Si votre usine est exposée à de nombreux vapeurs corrosives, ces revêtements se détériorent. Il faudra alors les protéger ou les surveiller de près. Et veillez bien à utiliser les bons solvants pour le nettoyage. Un nettoyage incorrect avec un tissu rugueux peut endommager la surface du wafer. Une fois que cette précision est perdue, l’efficacité du système diminue également.