Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre Lorsque vous chauffez des éléments à l’intérieur d’une chambre sous vide, dans un environnement de classe 100, vous ne pouvez pas vous permettre la moindre erreur. Un seul grain de poussière ou un gaz chimique en trop suffit pour que toute la quantité de wafer produite devienne inutilisable. La plupart des éléments chauffants standards ne conviennent pas à cet usage. Ils fuient des substances toxiques ou s’oxydent, ce qui signifie qu’ils libèrent des contaminants directement sur le substrat. C’est pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges en quartz synthétique de haute pureté. La lutte contre le brouillard Le problème avec le verre, c’est que dans un vide, les impuretés ont tendance à migrer vers la surface et à s’évaporer. Si votre quartz n’est pas de haute qualité, vous obtiendrez une couche de brouillard sur votre pièce de travail. Nous utilisons donc de la silice fusionnée avec un fort contenu en hydroxyde d’hydrogène. Cela semble technique, mais cela signifie simplement que la lampe ne se dégrade pas ni ne libère de gaz, même lorsque les cycles thermiques sont intenses. Ainsi, votre pièce de travail reste propre. Point final. Gérer la chaleur Les environnements sous vide sont difficiles à gérer, car il n’y a pas d’air pour disperser la chaleur. Tout se passe par rayonnement. Nous avons ajusté ces lampes pour qu’elles émettent des ondes infrarouges de courte longueur d’onde. Cela permet à la chaleur d’atteindre plus profondément les matériaux, ce qui évite d’avoir à attendre que les matériaux se réchauffent. C’est rapide. Mais il y a un bémol : comme la lampe ne peut pas dissiper sa chaleur dans l’air, ses extrémités deviennent extrêmement chaudes. Si vous ne réglez pas correctement les éléments de refroidissement, vous risquez de voir des fuites. Il est donc essentiel de vérifier bien tout ça avant d’allumer la lampe. Les petits détails Nous sommes très exigeants en matière de fabrication. Aucun plastique bon marché, aucun adhésif. Nous souduons les fils de la lampe à l’aide de métaux de haute pureté, afin qu’il n’y ait aucun résidu. Même l’ajustement doit être parfait. Nous veillons à ce qu’il n’y ait aucune marge d’erreur, car les vibrations peuvent également créer des particules indésirables. Vous obtenez ainsi une densité de chaleur suffisante pour maintenir la production en marche, sans avoir à craindre une baisse de qualité des produits. N’oubliez pas : plus la puissance de la lampe est élevée, plus le système de refroidissement doit travailler dur pour éviter que le reste de la chambre ne chauffe trop.