Deje de luchar contra el problema de las “paredes calientes”
Si alguna vez ha diseñado sistemas de calefacción para equipos de semiconductores, sabe cuál es el verdadero problema. En realidad, no se trata de elevar la temperatura del wafer a un nivel específico; eso es lo fácil. Lo difícil es evitar que el resto de la máquina se convierta en un horno.
Los calentadores convencionales son un desastre. Simplemente distribuyen el calor por todas partes. En poco tiempo, las paredes internas de la máquina se calientan demasiado, lo que pone en riesgo a los operarios y daña los componentes electrónicos sensibles debido al exceso de calor. Es un caos.
Así es como lo resolvemos nosotros.
Utilizamos lámparas de infrarrojos de onda corta. Piénselo como una linterna, pero que emite calor. En lugar de calentar todo el aire dentro de la cámara, los infrarrojos envían energía directamente al objetivo.
Al utilizar reflectores y formas específicas para las lámparas, podemos concentrar esa energía en un haz fino. Ese haz impacta directamente en la pieza a tratar, y así se evita que las paredes de la cámara se calienten. Es muy simple.
Controlar adecuadamente la temperatura
Cuando se trabaja en una sala limpia, la velocidad es crucial. Los infrarrojos de onda corta son ideales, ya que penetran más profundamente y reaccionan mucho más rápido que las opciones de onda larga. Se pueden aumentar las temperaturas en cuestión de segundos.
Pero hay que tener cuidado. Un array de infrarrojos de alta densidad libera mucha energía en un espacio reducido. Si el material a tratar no tiene mucha masa térmica, es fácil superar el límite deseado. Será necesario contar con un sistema PID preciso y termopares que actúen rápidamente para evitar problemas.
El lado práctico
Lo mejor es que no es necesario usar esos protectores aislantes voluminosos que ocupan mucho espacio. De esta manera, el chasis permanece seguro al tacto y el tamaño total de la máquina disminuye.
La維護 también es sencilla. Cuando una lámpara se agota, basta con reemplazarla por otra nueva. Asegúrese de que los conectores estén bien fijados; nadie quiere que haya arcos eléctricos en un sistema de alta tensión.