Hören Sie auf, gegen das Problem der „heißen Wände“ anzukämpfen!
Wenn Sie schon einmal mit der Beheizung von Halbleiterkomponenten zu tun hatten, wissen Sie, was für ein Albtraum das ist. Es geht nicht darum, die Wafer auf die richtige Temperatur zu bringen – das ist schließlich einfach. Das eigentliche Problem ist vielmehr, zu verhindern, dass der Rest der Maschine zu einem Ofen wird.
Herkömmliche Konvektionsheizer sind ungünstig: Sie verteilen die Wärme überallhin. Schon bald sind die Innenwände der Maschine extrem heiß, die Bediener geraten in Gefahr, sich zu verbrennen, und die empfindlichen Elektronikkomponenten funktionieren nicht mehr richtig, weil sie zu heiß werden. Es ist einfach chaotisch.
So lösen wir das Problem.
Wir verwenden Kurzwellinfrarotlampen. Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – nur mit Wärme statt Licht. Anstatt die gesamte Luft im Raum zu erwärmen, senden die IR-Lampen die Energie direkt auf das Zielobjekt. Durch die Verwendung von Reflektoren und speziellen Lampenformen kann man diese Energie in einen engen Strahl bündeln. Der Strahl trifft das Werkstück und hört dort auf. Da die Wände des Gehäuses nicht im Strahlbereich liegen, bleiben sie kalt. So einfach ist das.
Die richtige Temperaturregelung
In einem Reinraum ist Geschwindigkeit entscheidend. Kurzwellinfrarotstrahlen haben den Vorteil, dass sie tiefer eindringen und viel schneller reagieren als Langwellenstrahlen. Man kann die Temperatur in Sekunden erhöhen.
Aber man muss vorsichtig sein: Eine Hochdicht-IR-Anlage setzt eine große Menge an Energie in einem kleinen Bereich frei. Wenn das Zielmaterial keine hohe Wärmekapazität hat, ist es leicht, die gewünschte Temperatur zu überschreiten. Man sollte daher einen präzisen PID-Regler sowie schnell reagierende Thermoelemente verwenden, um Unregelmäßigkeiten zu vermeiden.
Die praktischen Aspekte
Der größte Vorteil: Man muss keine schweren Isolierschalen mehr verwenden, die viel Platz beanspruchen. Dadurch bleibt das Chassis sicher zum Berühren, und die Gesamtgröße der Anlage wird kleiner.
Die Wartung ist außerdem sehr einfach. Wenn eine Lampe kaputt geht, kann man sie einfach auswechseln. Achten Sie nur darauf, dass die Anschlüsse fest sitzen – schließlich möchte man in einer Hochspannungsanlage keine Probleme haben.