Na litické ploše si nemůžete dovolit žádné odchylky. I malá odchylka o půl stupně naruší profil fotorezistu – a najednou musíte bojovat o udržení kontroly nad procesem. Pokud dojde k výkyvům během procesu zahřívání, objeví se hrany s nečistotami, nebo dokonce horší situace – ztráta přilnavosti, kterou lze opravit až později. Potřebujete tedy teplo, které působí rychle, ustálí se přesně tam, kde chcete, a zůstane na místě cyklus za cyklem.
Co je důležité uvnitř zařízení
Vytvořili jsme infračervenou lampu na zahřívání fotorezistu tak, aby využívala krátkovlnné NIR světlo – díky tomu se fotorezistent rychle zahřívá v celém objemu. V oblasti zahřívání je rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C a opakovatelnost je velmi vysoká. Zařízení funguje v čistých prostorách třídy 1–100 bez vzniku částic. Je navrženo tak, aby odpovídalo rozměrům, rozhraním a termálnímu profilu hlavních polovodičových zařízení, která již používáte. Uvádíme také údaje o výstupním světle, době náběhu a stabilitě – protože proces zahřívání musí být deterministický proces, nikoliv další proměnná, kterou je potřeba řešit.
Proč to funguje v průmyslové výrobě
Můžete měřit výsledky – proces měkkého i tvrdého zahřívání dosahuje požadované teploty během několika sekund. Díky tomu se snižují odchylky mezi jednotlivými série výrobků a proces se stává stabilnějším. Přesnější kontrola teploty znamená méně nečistot, lepší přilnavost a méně oprav. Spotřeba energie klesá, protože lampa dodává teplo pouze tehdy, když je to potřeba, místo toho, aby byla neustále v provozu. Zařízení je navrženo pro nepřetržitý provoz – údaje z provozu potvrzují dlouhodobý provoz s minimem plánovaných přestávek.
Na co si dát pozor hned od začátku
Instalace spočívá v souladu elektrického a mechanického rozhraní zařízení s ostatními komponentami, poté je potřeba nastavit termální parametry podle chemie fotorezistu a vrstev substrátu. Lampa funguje nejlépe, když je komora pro zahřívání dobře uzavřená – jakákoli porucha průtoku vzduchu se projeví jako lokální nerovnoměrnosti. Je potřeba provést počáteční testování, abyste zmapovali profil teplot a stanovili optimální parametry. Jakmile to budete mít za sebou, proces bude probíhat s tou konzistencí, na kterou vaše výroba spoléhá.