ফ্যাব ফ্লোরে, তাপীয় বিচ্যুতিগুলো কেবলমাত্র সাধারণ ত্রুটি নয়; এগুলো উৎপাদন ক্ষমতাকেও কমিয়ে দেয়। যদি স্পাটারিং চেম্বারটি লক্ষ্যবিন্দু থেকে সামান্যই বিচ্যুত হয়, তাহলে ফিল্মের চাপ ও পুরুত্বে অসমানতা দেখা দেয়; আর এর ফলে লিথোগ্রাফি ও ইটচিং প্রক্রিয়াগুলোতে সমস্যা দেখা দেয়। আমরা আমাদের ইনফ্রারেড স্পাটারিং হিটারগুলো এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে এই ধরনের অনিশ্চয়তাগুলো দূর হয়, এবং ফিল্ম তৈরির প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে—ঠিক ওয়েফারের পৃষ্ঠেই।
আমাদের শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ডিজাইনটি দ্রুত ও সরাসরি তাপ সরবরাহ করে; ফলে ওয়েফারের পুরুত্ব ±0.1°C এর মধ্যেই থাকে। কোয়ার্টজ রেডিয়েটর ও ক্লোজ্ড-লুপ কন্ট্রোলের কারণে তাপীয় অবস্থা নিয়ন্ত্রণে থাকে; ফলে ওয়েফারের পুরুত্ব ঠিক থাকে। ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায়ও এই ইনফ্রারেড ডিজাইনটি সুবিধা দেয়—প্রি-বেক প্রক্রিয়ায় দ্রবণীয় পদার্থগুলো সহজেই অপসারিত হয়; ফলে কম ত্রুটি দেখা দেয়।
এটি ডিজাইনগতভাবেই “ক্লিনরুম-প্রস্তুত”। হিটারটি ক্লাস 1–100 এ কোনো কণা ছাড়াই কাজ করে; আর কম গ্যাস নির্গমনকারী উপাদানগুলো দীর্ঘসময় ধরে কাজ করার সময় দূষণ রোধ করে। ওয়েফারের কিনারায় কোনো কণা না থাকার কারণে কম ত্রুটি দেখা দেয়; ফলে রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজনও কম হয়। এর ফলে স্থিতিশীল সাইকেল সময়, প্রতি ওয়েফারে কম শক্তি ব্যবহার হয়; আর ফিল্মের গুণমানও ধারাবাহিক থাকে।
বেশিরভাগ স্পাটারিং প্ল্যাটফর্মেই এটি সহজেই ইনস্টল করা যায়; কিন্তু এর ছোট আকারের কারণে শিল্ড ও ফিক্সচারগুলোর চারপাশে জায়গা কম থাকে। তাই ইন্টিগ্রেশন প্রক্রিয়াটি আগেই পরিকল্পনা করা উচিত—মাউন্টিং ইন্টারফেস ও অপটিক্যাল পাথের জন্য জায়গা নিশ্চিত করে নিন। ইনস্টল হয়ে গেলে সিস্টেমটি ২৪/৭ কাজ করে; আর ডেটাশিটে দেখানো রিপিটেবিলিটি প্রতিটি লটেই বজায় থাকে।