লিথো ফ্লোরে, কোনো ধরনের ত্রুটি সহ্য করা যায় না। অর্ধ ডিগ্রি পর্যন্ত তাপমাত্রার পরিবর্তনও ফটোরেজিস্টের কার্যকারিতাকে প্রভাবিত করে; ফলে CD-এর নিয়ন্ত্রণ বজায় রাখা কঠিন হয়ে যায়। যদি তাপমাত্রা অস্থির থাকে, তাহলে প্রান্তে অসমতা দেখা দেয়; আরও খারাপ হলে ফটোরেজিস্টের আঠালো বৈশিষ্ট্য নষ্ট হয়ে যায়। এটা সংশোধন করা খুবই কঠিন হয়ে যায়। আপনার দরকার হলো এমন তাপ, যা দ্রুত কাজ করে, ঠিক যেখানে দরকার সেখানেই থাকে, এবং বারবার একই অবস্থায় থাকে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ফটোরেজিস্ট কিউরিং ইনফ্রারেড ল্যাম্পটি শর্ট-ওয়েভ NIR তরঙ্গদৈর্ঘ্যের ভিত্তিতে তৈরি করেছি; যাতে ফটোরেজিস্ট দ্রুত উত্তপ্ত হয়। বেকিং জোনে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে রাখা হয়; আর পুনরাবৃত্তির ক্ষেত্রেও তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয়। এই সিস্টেমটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে কাজ করে; এখানে কোনো ধরনের কণা যোগ হয় না। এটা আপনার বর্তমান সেমিকন্ডাক্টর টুলগুলোর ফুটপ্রিন্ট, ইন্টারফেস ও তাপীয় প্রোফাইলের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণভাবে ডিজাইন করা হয়েছে। আমরা আউটপুট উইন্ডো, রাইজ টাইম ও স্টেবিলিটি নিয়ন্ত্রণ করি; কারণ বেকিং প্রক্রিয়াটি অবশ্যই নির্দিষ্ট নিয়ম অনুসরণ করে চলতে হবে।
কেন এটা উৎপাদনে কার্যকর?
আপনি এর ফলাফল পরিমাপ করতে পারেন। সফট বেকিং ও হার্ড বেকিং কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় পৌঁছায়; ফলে লট-থেকে-লট তাপমাত্রার পরিবর্তন কমে যায়। কম তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ মানে কম অসমতা, ভালো আঠালো বৈশিষ্ট্য, এবং কম পুনর্কাজ। ল্যাম্পটি চাহিদা অনুযায়ী তাপ সরবরাহ করে; ফলে বিদ্যুৎ খরচ কমে যায়। এটা ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; ফিল্ড ডেটা থেকে জানা যায় যে এটা কম বিরতির সাথে দীর্ঘসময় ধরে কাজ করতে পারে।
কী বিষয়গুলো মনোযোগ দেওয়া উচিত?
ইনস্টলেশনের সময় টুলটির বৈদ্যুতিক ও যান্ত্রিক ইন্টারফেসগুলো সামঞ্জস্যপূর্ণ করা দরকার। তারপর ফটোরেজিস্টের রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য ও সাবস্ট্রেট স্ট্যাকের জন্য তাপীয় সেটপয়েন্টগুলো সামঞ্জস্য করা দরকার। ল্যাম্পটি তখনই সর্বোত্তমভাবে কাজ করে, যখন বেকিং চেম্বারটি ভালোভাবে সিল থাকে; কোনো ধরনের বায়ুপ্রবাহ থাকলে স্থানীয় অসমতা দেখা দেয়। প্রথমে প্রোফাইলটি নির্ধারণ করে রেসিপিটি নির্ধারণ করা দরকার। একবার এটা করা হলে, প্রক্রিয়াটি নির্দিষ্ট নিয়ম অনুসরণ করে চলে।